1440 球殻モデルによる非対称高周波放電のシース電圧分布予測
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概要
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Estimation of sheath voltage distribution in asymmetric radio-frequency discharges is important because we can also obtain self-bias voltage which accelerates positive ions to target or wafer. We developed the numerical simulation code for estimation of the sheath voltage distribution and the self-bias voltage. We roughly approximate general asymmetric rf discharges to one-dimensional spherical ones. The results obtained by using our simulation code correspond with experimental results and can be explained theoretically.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-08-05
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