南部 健一 | 東北大流体研

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概要

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• 南部 健一

  東北大学流体科学研究所

• 南部 健一

  東北大・流体研

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  東北大流体研

• 米村 茂

  東北大流体研

• 高橋 正嘉

  東北大流体研

• 佐々木 博志

  東北大流体研

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  東北大工

• 武木田 秀人

  東北大学流体科学研究所

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• 武木田 秀人

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  東北大院

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著作論文

• 1441 Ar/HBr プラズマによるシリコンのエッチング特性
• 1440 球殻モデルによる非対称高周波放電のシース電圧分布予測
• C-312 表面反応を伴う炭素細線周りの超音速窒素原子流
• AM06-20-010 共鳴電荷交換を考慮したイオン原子衝突モデリング(分子スケールの流れ(2),一般講演)
• 2818 誘導結合塩素プラズマ中の電子エネルギー分布
• 2817 誘導結合アルゴンプラズマ中の電子エネルギー分布
• 107 塩素プラズマによるシリコンエッチングの基板バイアス効果(O.S.1-2 プラズマ(1))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)
• 1206 誘導結合プラズマリアクター内のプラズマパラメータ測定
• A001 ボルツマン方程式およびランダウ・フォッカー・プランク方程式に基づく気体とプラズマにおける粒子間衝突論
• 26aB10 軸対称高周波マグネトロン放電のPIC/MC法による解析(ヘリカル/プラズマ応用)

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