高橋 正嘉 | 東北大流体研
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概要
関連著者
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南部 健一
東北大学流体科学研究所
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南部 健一
東北大・流体研
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南部 健一
東北大流体研
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高橋 正嘉
東北大流体研
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佐々木 博志
東北大流体研
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伊藤 篤
東北大工
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江戸 隆諭
東北大流体研
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佐々木 博志
東北大 流体科研
著作論文
- 1441 Ar/HBr プラズマによるシリコンのエッチング特性
- 107 塩素プラズマによるシリコンエッチングの基板バイアス効果(O.S.1-2 プラズマ(1))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)
- 1206 誘導結合プラズマリアクター内のプラズマパラメータ測定