佐々木 博志 | 東北大流体研

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著作論文

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• 非定常熱量法による金属の比熱と全半球ふく射率の同時測定法
• 塩素プラズマによるシリコンエッチングの基板バイアス効果
• 107 塩素プラズマによるシリコンエッチングの基板バイアス効果(O.S.1-2 プラズマ(1))(O.S.1 電子・イオン・分子の流れ)
• 1206 誘導結合プラズマリアクター内のプラズマパラメータ測定

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