2818 誘導結合塩素プラズマ中の電子エネルギー分布
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概要
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The electron energy distribution function (EEDF) is one of the most important quantities in processing plasma. The effects of discharge conditions on the EEDF in inductively coupled chlorine discharges are studied numerically. The EEDFs for low gas pressure have a high energy tail, whereas the EEDFs for high gas pressure are lower in the high energy region due to inelastic collisions. The fraction of high energy electrons increases with the increase of the fraction of Cl.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
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