アモルファスシリコンを用いた多層光導波路作製法の検討
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2011-12-09
著者
-
荒井 滋久
東京工業大学
-
西山 伸彦
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
-
渥美 裕樹
東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
小田 学
東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻
-
姜 〓〓
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
-
小田 学
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
-
渥美 裕樹
東京工業大学 理工学研究科 電気電子工学専攻
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