窒化酸化膜緩衝層を用いた改良LOCOS (ON-LOCOS) 素子分離技術

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概要

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• 1997-12-04

著者

• 杉井 寿博

  (株)富士通研究所

• 杉井 寿博

  富士通マイクロエレクトロニクス株式会社

• 三本杉 安弘

  (株)富士通研究所

• 杉井 寿博

  富士通マイクロエレクトロニクス

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