過渡電流および定常電流を用いたMOSキャパシタ劣化機構解明
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概要
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- 1997-12-04
著者
-
山田 廉一
東大理
-
大倉 理
(株)日立製作所 中央研究所
-
由上 二郎
(株)日立製作所 中央研究所
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由上 二郎
(株)半導体先端テクノロジーズ(selete)
-
山田 廉一
(株)日立製作所 中央研究所
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山田 廉一
日立製作所・中央研究所
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由上 二郎
ルネサス テクノロジ
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