薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報) : Pd基薄膜金属ガラスの成膜とその微細加工
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-01
著者
-
和田 晃一
(株)アドバンテスト研究所
-
下河辺 明
東工大精研
-
秦 誠一
東工大精研
-
佐藤 海二
東京工業大学
-
佐藤 海二
東工大総理工
-
和田 晃一
アドバンテスト研究所
-
秦 誠一
東京工大 精密工研
関連論文
- ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索(M&P2009機械材料・材料加工部門技術講演会)
- 集積化MEMS血球分析チップ
- B29 新給電機構を有する高速放電加工用コンパクト磁気浮上アクチュエータ(OS-2 最新機械要素技術(1))
- 20315 体外循環用使い捨て磁気浮上遠心血液ポンプの開発(人工臓器と医用工学(4),OS.8 人工臓器と医用工学)
- 薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第3報) : 過冷却液体域を利用した立体構造製作法の検討
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報) : Pd基薄膜金属ガラスの成膜とその微細加工
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報) : 薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第1報) : 薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-過冷却液体域を利用した微細成形法-
- 金属ガラスによる精密・微細構造物加工法の研究 -スパッタ法による微細構造製作とその物性-
- 2111 集積化MEMS血球分析チップ(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 6自由度微動機構の研究(第2報) : 制御特性
- E14 磁気浮上アクチュエータを用いた放電加工におけるジャンプフラッシング(OS-8 放電加工(2))
- 2101 コンビナトリアル手法によるMEMS用新材料の探索(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 新しいPt基アモルファス合金を用いたガラスレンズ成形用金型の試作(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ガラスレンズ成形金型材料用アモルファス合金のコンビナトリアル探索 : 結晶化開始温度,機械特性の評価
- 119 ガラスレンズ成形金型用Pt基アモルファス合金とその加工(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 220 高機能光学素子金型用アモルファス合金のコンビナトリアル探索(超精密・マイクロ加工)
- インテリジェント制御法を用いた粗微動位置決め系の制御性能
- インテリジェント制御法を用いた送りねじ位置決め系の制御性能
- 粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -2種類のインテリジェント制御法の適用-
- 107 高精度磁気軸受の研究 : 推定慣性中心での回転軸の運動制御(OS3 最新機械要素技術)
- 磁気ねじをもちいた機構の起動時の特性と位置決め精度
- 磁気ねじと静圧案内を用いた位置決め機構
- 新しい磁気ねじの提案とその基本特性
- 磁気ねじのスラスト剛性について
- マイクロ磁気軸受モータの研究
- 精密磁気軸受の研究(第4報):混合繰返し制御による高精度回転の実現
- 精密磁気軸受の研究(第3報) : 軸の慣性中心での回転制御
- 1自由度リニアモータ制御による永久磁石反発型浮上直動機構の安定化と位置決め
- F-0938 実用的磁気浮上系制御の研究(G10-7 制御・ダンパ)(G10 機械力学・計測制御部門一般講演)
- 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント : 濡れ性の高い面の形状がアライメント性能に与える影響
- 143 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント : マイクロ部品や液滴の挙動とアライメント精度
- ステップ駆動静電マイクロアクチュエータの研究
- 能動平行ばね機構
- 226 遠心ポンプを利用した埋込型完全人工心臓用磁気軸受
- バックラッシを有する送りねじ機構の動的挙動
- 薄膜金属ガラスの成膜と物性
- LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第3報) : 性能向上の試み
- LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第2報) : 応答速度の検討
- 空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め
- 空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め
- 機構のマイクロダイナミクスと高精度位置決め
- 507 精密・微細放電加工のための5自由度磁気浮上アクチュエータ(OS-4 機械要素技術)
- 109 ナノ加工システム用超精密XY位置決めテーブル(OS9 環境適応形加工)
- 404 軸方向位置決め機能を有する静圧空気スピンドルを用いた精密フライス加工(OS4 最新機械要素技術)(OS16 トライポロジー・軸受技術)
- XYナノ位置決めテーブルシステム(S60-2 生産システムの新展開(2),S60 生産システムの新展開)
- 永久磁石反発型直動案内(テーブルの静剛性と2自由度の制御による浮上安定化)
- 永久磁石の反発力を利用した2自由度制御型磁気直動案内
- Micro/Macro Dynamic Characteristics of Mechanism with a Harmonic Speed Reducer and Precision Rotational Positioning Control Using Disturbance Observer
- 高精度磁気軸受の研究(第1報) : 磁力による非接触位置決め方法の検討
- ジャーナル型アクティブエアベアリング(第2報) : 形状特性および絶対回転運動精度の検討
- 超高加速リニアモータの駆動・位置決め特性
- 薄膜ミラーの変形を利用した光スイッチの原理と試作(J21-2 静電アクチュエータ・MEMS技術応用,J21 マイクロメカトロニクス)
- 粗微動位置決め系の制御性能 : 4種類の制御法の位置決め性能比較
- 各種制御法を用いた送りねじ位置決め系の性能評価(第2報) : ステップ高さや質量の変化を定常負荷外乱の影響
- 粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -状態フィードバック制御, スライディングモード制御の適用-
- 粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -各種制御法による特性比較-
- 摩擦特性と超精密位置決め (特集 ものを動かす)
- 実用性を重視したNCTF制御系の安定条件
- 薄膜金属ガラスを用いたマイクロレンズアクチュエーター
- 精密位置決め制御の基礎(はじめての精密工学)
- 精密位置決め制御の基礎
- 精密サーボ機構を必要としないマイクロ部品のセルフアライメント技術
- 100G,10m/sを越える超高加速・高速リニアモータ機構
- 超高加速・高速リニアモータのための可動部設計(S46-1 機構の開発とシミュレーション(I),S46 機構の開発とシミュレーション)
- 2慣性系のための実用的な位置決め制御方法と制御性能
- PTP位置決めのための実用的な制御系の設計と制御特性(機械力学,計測,自動制御)
- 超高加速・高速直動メカニズム : アクチュエータの設計と推力性能
- 1123 仮想三次元測定機の研究 : 慣性力と駆動力による動的誤差の評価
- 直線運動精度の超精密計測・制御 : 液面を基準とする場合
- 各種制御法を用いた送りねじ位置決め系の性能評価(第1報) : 基本性能とクローン摩擦力変動の影響
- 整流機能付きMEMS血球計数センサの開発
- 2313 薄膜金属ガラスを用いた集積形ERマイクロアクチュエータ(OS8-3 アクチュエータシステム(3))
- 754 薄膜金属ガラスを用いた多自由度流体マイクロアクチュエータの提案(流体パワーによる駆動と制御III,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- 集積化円錐ばねマイクロアクチュエータ
- 基板面外円錐ばねマイクロアクチュエータ
- 437 サーモグラフィによる薄膜アモルファス合金ライブラリの結晶化開始温度測定法(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
- 436 ガラス成形金型用Ptフリー非晶質合金のコンビナトリアル探索(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
- 435 高機能ガラスレンズ金型用Pt基非晶質合金の探索(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
- 産業用リニアドライブ技術と応用の変遷 : 要素部品と要素技術の変遷
- 二次元アブソリュートエンコーダの原理とその応用
- 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメントの原理と特性
- 水の表面張力を利用したマイクロ部品組立のためのセルフアライメント
- 高周波回路用可変マイクロインダクタの製作と評価
- 225 磁気軸受を用いた高精度回転の実現
- ホール素子を用いた磁気軸受の変位推定と位置決め
- 高精度磁気軸受の研究(第3報) : 磁束検出による変位推定と位置決め
- CMMの周囲温度の動的変動が測定精度に与える影響
- 薄膜金属ガラスを用いた2自由度マイクロアクチュエータの製作
- レーザ局所加熱による薄膜金属ガラスのマイクロフォーミング
- 144 バルク金属ガラスを用いた微小球面軸受
- 変位センサと超精密位置決め(超精密位置決めのための最新技術)
- MNM-3B-5 薄膜金属ガラスを用いた新しいダイアフラム形真空センサ(セッション 3B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー2)
- MNM-3B-4 円筒形超音波リニアマイクロアクチュエータ(セッション 3B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー2)
- 327 サーモグラフィによる薄膜形状記憶合金の変態温度測定法(知的材料・構造システムおよび複合機能化材料・デバイス(1),ものづくりにおける基礎研究と先端技術の融合)
- 5自由度制御型能動空気軸受(第2報) : 軸の回転以外の5自由度運動制御
- 2軸テーブル軌跡制御系の簡単設計法
- MP-45 薄膜ライブラリを用いた形状記憶合金の変態温度測定法(ポスターセッション)