液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント : 濡れ性の高い面の形状がアライメント性能に与える影響

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概要

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• 2000-09-01

著者

• 伊藤 健太郎

  東工大総理工

• 下河辺 明

  東工大精研

• 秦 誠一

  東工大精研

• 佐藤 海二

  東京工業大学

• 佐藤 海二

  東工大総理工

• 秦 誠一

  東京工大 精密工研

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