粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -状態フィードバック制御, スライディングモード制御の適用-
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概要
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- 1997-03-01
著者
-
下河辺 明
東工大
-
進士 忠彦
東工大
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進士 忠彦
東京医科歯科大学生体材料工学研究所 生体システム分野
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佐藤 海二
東工大精研
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進士 忠彦
東工大精研
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佐藤 海二
東京工業大学
-
科野 文男
東京工業大学大学院:(現)松下電器産業(株)
-
科野 文男
東工大
-
佐藤 海二
東工大大学院
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