粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -各種制御法による特性比較-
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概要
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- 1996-03-01
著者
-
下河辺 明
東工大
-
佐藤 海二
東工大精研
-
佐藤 海二
東京工業大学
-
太刀川 博之
東工大精研
-
アビディン ザイナル
東京工業大学精密工学部研究所
-
科野 文男
東京工業大学大学院:(現)松下電器産業(株)
-
科野 文男
東工大
-
古屋 学
東工大
-
ABIDIN Zainal
ITB
-
佐藤 海二
東工大大学院
-
古屋 学
東京工業大学大学院:(現)東海旅客鉄道(株)
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