薄膜ミラーの変形を利用した光スイッチの原理と試作(J21-2 静電アクチュエータ・MEMS技術応用,J21 マイクロメカトロニクス)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper describes a new optical switch based on MEMS techniques. This comprises two plates which have many electrodes on its surface and belt-shaped thin film mirrors which are put between the plates. The shape of the mirror is deformed by electrostatic force and the optical path is controlled. The switch has a simple structure and basically easy to assemble. It is easy to change a optical path greatly by a relatively small stress to act on the mirror. The pates and the mirror are made by MEMS techniques. In this paper, the principle of the optical switch is introduced and the behavior of the experimental switch is confirmed.
- 2004-09-04
著者
関連論文
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報) : Pd基薄膜金属ガラスの成膜とその微細加工
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報) : 薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第1報) : 薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-過冷却液体域を利用した微細成形法-
- 金属ガラスによる精密・微細構造物加工法の研究 -スパッタ法による微細構造製作とその物性-
- 6自由度微動機構の研究(第2報) : 制御特性
- インテリジェント制御法を用いた粗微動位置決め系の制御性能
- インテリジェント制御法を用いた送りねじ位置決め系の制御性能
- 粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -2種類のインテリジェント制御法の適用-
- 磁気ねじをもちいた機構の起動時の特性と位置決め精度
- 磁気ねじと静圧案内を用いた位置決め機構
- 新しい磁気ねじの提案とその基本特性
- 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント : 濡れ性の高い面の形状がアライメント性能に与える影響
- 143 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント : マイクロ部品や液滴の挙動とアライメント精度
- ステップ駆動静電マイクロアクチュエータの研究
- 能動平行ばね機構
- バックラッシを有する送りねじ機構の動的挙動
- LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第3報) : 性能向上の試み
- LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第2報) : 応答速度の検討
- 空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め
- 空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め
- 機構のマイクロダイナミクスと高精度位置決め
- 109 ナノ加工システム用超精密XY位置決めテーブル(OS9 環境適応形加工)
- 404 軸方向位置決め機能を有する静圧空気スピンドルを用いた精密フライス加工(OS4 最新機械要素技術)(OS16 トライポロジー・軸受技術)
- XYナノ位置決めテーブルシステム(S60-2 生産システムの新展開(2),S60 生産システムの新展開)
- 永久磁石反発型直動案内(テーブルの静剛性と2自由度の制御による浮上安定化)
- 永久磁石の反発力を利用した2自由度制御型磁気直動案内
- Micro/Macro Dynamic Characteristics of Mechanism with a Harmonic Speed Reducer and Precision Rotational Positioning Control Using Disturbance Observer
- 高精度磁気軸受の研究(第1報) : 磁力による非接触位置決め方法の検討
- ジャーナル型アクティブエアベアリング(第2報) : 形状特性および絶対回転運動精度の検討
- 超高加速リニアモータの駆動・位置決め特性
- 薄膜ミラーの変形を利用した光スイッチの原理と試作(J21-2 静電アクチュエータ・MEMS技術応用,J21 マイクロメカトロニクス)
- 粗微動位置決め系の制御性能 : 4種類の制御法の位置決め性能比較
- 各種制御法を用いた送りねじ位置決め系の性能評価(第2報) : ステップ高さや質量の変化を定常負荷外乱の影響
- 粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -状態フィードバック制御, スライディングモード制御の適用-
- 粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -各種制御法による特性比較-
- 摩擦特性と超精密位置決め (特集 ものを動かす)
- 実用性を重視したNCTF制御系の安定条件
- 精密位置決め制御の基礎(はじめての精密工学)
- 精密位置決め制御の基礎
- 精密サーボ機構を必要としないマイクロ部品のセルフアライメント技術
- 100G,10m/sを越える超高加速・高速リニアモータ機構
- 超高加速・高速リニアモータのための可動部設計(S46-1 機構の開発とシミュレーション(I),S46 機構の開発とシミュレーション)
- 2慣性系のための実用的な位置決め制御方法と制御性能
- PTP位置決めのための実用的な制御系の設計と制御特性(機械力学,計測,自動制御)
- 超高加速・高速直動メカニズム : アクチュエータの設計と推力性能
- 1123 仮想三次元測定機の研究 : 慣性力と駆動力による動的誤差の評価
- 直線運動精度の超精密計測・制御 : 液面を基準とする場合
- 各種制御法を用いた送りねじ位置決め系の性能評価(第1報) : 基本性能とクローン摩擦力変動の影響
- 産業用リニアドライブ技術と応用の変遷 : 要素部品と要素技術の変遷
- 二次元アブソリュートエンコーダの原理とその応用
- 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメントの原理と特性
- 水の表面張力を利用したマイクロ部品組立のためのセルフアライメント
- ホール素子を用いた磁気軸受の変位推定と位置決め
- 高精度磁気軸受の研究(第3報) : 磁束検出による変位推定と位置決め
- CMMの周囲温度の動的変動が測定精度に与える影響
- 144 バルク金属ガラスを用いた微小球面軸受
- 変位センサと超精密位置決め(超精密位置決めのための最新技術)
- 5自由度制御型能動空気軸受(第2報) : 軸の回転以外の5自由度運動制御
- 5自由度制御型能動空気軸受(第1報) : 5自由度制御型能動空気軸受の原理と動的パラメータの同定
- 改良型反転法による真円度および絶対回転運動精度の評価
- 波動歯車減速機を用いた機構の動特性と精密回転位置決め制御
- 機能化送りねじ機構 : 第2報,バックラッシの実時間計測と除去
- 機能化送りねじ機構 : 第1報,原理と試作機構の諸特性
- 2軸テーブル軌跡制御系の簡単設計法
- 高精度磁気軸受の研究(第2報) : オブサーバの変位推定限界とセンサレス高精度位置決め
- 磁気軸受におけるオブザーバの変位推定精度とセンサレス位置決め
- 140 機構の微動特性と精密位置決め
- 精密位置決め機構の制御