薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-過冷却液体域を利用した微細成形法-
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1999-09-01
著者
-
後藤 潤
東京工業大学大学院
-
下河辺 明
東工大精研
-
秦 誠一
東工大精研
-
佐藤 海二
東工大精研
-
佐藤 海二
東京工業大学
-
後藤 潤
東工大大学院
-
長峯 靖之
東工大精研
-
長峯 靖之
東京工業大学精密工学研究所
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