後藤 潤 | 東京工業大学大学院

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概要

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関連著者

• 後藤 潤

  東京工業大学大学院

• 佐藤 海二

  東京工業大学

• 下河辺 明

  東工大精研

• 秦 誠一

  東工大精研

• 佐藤 海二

  東工大精研

• 後藤 潤

  東工大大学院

• 秦 誠一

  東京工業大学精密工学研究所

• 下河辺 明

  東京工業大学

• 佐藤 海二

  東京工業大学精密工学研究所

• 秦 誠一

  東京工業大学

• 長峯 靖之

  東工大精研

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  東京工業大学精密工学研究所

• 秦 誠一

  東京工大 精密工研

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著作論文

• 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報) : 薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作
• 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第1報) : 薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形
• 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作-過冷却液体域を利用した微細成形法-
• 金属ガラスによる精密・微細構造物加工法の研究 -スパッタ法による微細構造製作とその物性-
• ステップ駆動静電マイクロアクチュエータの研究

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