薄膜金属ガラスを用いた2自由度マイクロアクチュエータの製作

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概要

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• 2002-10-01

著者

• 下河辺 明

  東京工業大学

• 下河辺 明

  東工大精研

• 秦 誠一

  東工大精研

• 秦 誠一

  東京工大 精密工研

• 鄭 希元

  東工大精研

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