超高精度直線運動機構(第2報) : 5 自由度の制御
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
In order to realize straight motion at the highest level of accuracy, the system is introduced in which five degrees of freedom of a moving table; vertical and horizontal positions, and pitch, roll and yaw angles are controlled precisely. The table is supported by active air bearings composed of piezo-actuators and air pads. Motion accuracies of the table to the straight edge masters are measured by several capacitance micrometers. Control system with PID-PD controller is designed and motion-positioning resolutions of 0.02 μm and 0.02 arc sec are achieved. Straight motion accuracies were 0.05 μm in vertical and horizontal positions, 0.06 arc sec in pitch, 0.07 arc sec in roll and 0.03 arc sec in yaw angles over 1000 mm travel at table speed of 10 mm/s.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1988-10-05
著者
関連論文
- ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索(M&P2009機械材料・材料加工部門技術講演会)
- 集積化MEMS血球分析チップ
- B29 新給電機構を有する高速放電加工用コンパクト磁気浮上アクチュエータ(OS-2 最新機械要素技術(1))
- 20315 体外循環用使い捨て磁気浮上遠心血液ポンプの開発(人工臓器と医用工学(4),OS.8 人工臓器と医用工学)
- オンチップRF可変インダクタの開発
- 薄膜金属ガラスを用いた微細中空構造の製作
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報) : 薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第1報) : 薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形
- 静圧直線案内のベルト駆動(第1報) : 直線運動精度
- 2111 集積化MEMS血球分析チップ(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 6自由度微動機構の研究(第2報) : 制御特性
- 6自由度微動機構の研究
- E14 磁気浮上アクチュエータを用いた放電加工におけるジャンプフラッシング(OS-8 放電加工(2))
- 精密工学会創立75周年を迎えて(2.1 歴代会長より,2.諸先輩からのメッセージ,創立75周年記念)
- 東京工業大学の産学連携戦略
- 「超」への挑戦(「超」を実現するテクノロジー)
- 究極の超精密案内機構は何か?
- 非接触位置決め機構
- 円周磁気目盛の自動校正装置の試作
- 集積化MEMS血球分析チップ
- 2101 コンビナトリアル手法によるMEMS用新材料の探索(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- ガラス成形金型用Ptフリーアモルファス合金のコンビナトリアル探索
- 単一アークプラズマガンを用いたコンビナトリアル蒸着法
- 新しいPt基アモルファス合金を用いたガラスレンズ成形用金型の試作(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- ガラスレンズ成形金型材料用アモルファス合金のコンビナトリアル探索 : 結晶化開始温度,機械特性の評価
- 119 ガラスレンズ成形金型用Pt基アモルファス合金とその加工(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 220 高機能光学素子金型用アモルファス合金のコンビナトリアル探索(超精密・マイクロ加工)
- インテリジェント制御法を用いた粗微動位置決め系の制御性能
- インテリジェント制御法を用いた送りねじ位置決め系の制御性能
- 107 高精度磁気軸受の研究 : 推定慣性中心での回転軸の運動制御(OS3 最新機械要素技術)
- 磁気ねじをもちいた機構の起動時の特性と位置決め精度
- 新しい磁気ねじの提案とその基本特性
- マイクロ磁気軸受モータの研究
- 精密磁気軸受の研究(第4報):混合繰返し制御による高精度回転の実現
- ラジアル磁気軸受の高精度制御
- 実用的磁気浮上系制御の提案 : 1 自由度系への適用
- 1自由度制御による永久磁石反発型浮上直動システムの安定化
- 超高精度直線運動機構(第1報) : 機構の試作と2自由度の制御
- 小型遠心ポンプ用1自由度制御型磁気軸受の研究(機械要素,潤滑,工作,生産管理)
- 能動平行ばね機構
- 226 遠心ポンプを利用した埋込型完全人工心臓用磁気軸受
- 磁気浮上遠心血液ポンプの開発
- コンパクト遠心血液ポンプの研究(第2報) : ビルトインモータ型遠心ポンプの性能(S64-2 生物医学工学における計測と制御(2),S64 生物医学工学における計測と制御)
- コンパクト遠心血液ポンプの研究(第1報) : 2軸制御磁気軸受と磁気カップリング駆動(S64-2 生物医学工学における計測と制御(2),S64 生物医学工学における計測と制御)
- バックラッシを有する送りねじ機構の動的挙動
- ジャーナル型アクティブエアベアリング : ラジアル方向2自由度の制御
- アクティブエアベアリングの動剛性制御
- 光学式非接触プローブの研究(第2報) : 小型一体化プローブ
- 直線運動精度の測定法について
- 光学式非接触プローブの研究
- ウォームとホブの相対誤差測定
- 薄膜金属ガラスの成膜と物性
- 金属ガラスの精密・微細加工に関する研究 : Zr基金属ガラスの過冷却液体域における成形性
- LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第3報) : 性能向上の試み
- LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第2報) : 応答速度の検討
- 延性モード切削加工用の超精密変位台の開発
- 空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め
- 最少領域法による形状精度の評価
- LD 周波数変調光ファイバ変位センサ
- 磁気浮上アクチュエータを用いた微細穴放電加工
- 507 精密・微細放電加工のための5自由度磁気浮上アクチュエータ(OS-4 機械要素技術)
- 404 軸方向位置決め機能を有する静圧空気スピンドルを用いた精密フライス加工(OS4 最新機械要素技術)(OS16 トライポロジー・軸受技術)
- 永久磁石反発型直動案内(テーブルの静剛性と2自由度の制御による浮上安定化)
- 小型自走機械群による超精密生産機械システム(第1報) : 自走機械の設計と試作
- 高精度磁気軸受の研究(第1報) : 磁力による非接触位置決め方法の検討
- ジャーナル型アクティブエアベアリング(第2報) : 形状特性および絶対回転運動精度の検討
- 体外循環用磁気浮上使い捨て遠心血液ポンプ : —動物実験に向けたポンプ性能向上—
- 曲面で創成された鼓形ウォームを持つウォームギヤの接触線, 相対曲率
- 超高精度直線運動機構(第2報) : 5 自由度の制御
- 粗微動位置決め系の制御性能 : 4種類の制御法の位置決め性能比較
- 各種制御法を用いた送りねじ位置決め系の性能評価(第2報) : ステップ高さや質量の変化を定常負荷外乱の影響
- 能動空気軸受の基本原理と応用-2-
- 能動空気軸受の基本原理と応用-3-
- 金属ガラスの精密・微細加工に関する基礎的研究 : Zr基バルク金属ガラスの引張変形挙動
- ウォームホブの研究(第2報) : 二番取り研削実験
- 2慣性系のための実用的な位置決め制御方法と制御性能
- PTP位置決めのための実用的な制御系の設計と制御特性(機械力学,計測,自動制御)
- 超高加速・高速直動メカニズム : アクチュエータの設計と推力性能
- 直線運動精度の超精密計測・制御 : 液面を基準とする場合
- 各種制御法を用いた送りねじ位置決め系の性能評価(第1報) : 基本性能とクローン摩擦力変動の影響
- 整流機能付きMEMS血球計数センサの開発
- 2313 薄膜金属ガラスを用いた集積形ERマイクロアクチュエータ(OS8-3 アクチュエータシステム(3))
- 754 薄膜金属ガラスを用いた多自由度流体マイクロアクチュエータの提案(流体パワーによる駆動と制御III,オーガナイズドセッション,人体のコンピュータモデルの作成とその応用,特別講演)
- 集積化円すいばねマイクロアクチュエータ
- ウォームギヤの相対曲率
- 集積化円錐ばねマイクロアクチュエータ
- 437 サーモグラフィによる薄膜アモルファス合金ライブラリの結晶化開始温度測定法(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
- 436 ガラス成形金型用Ptフリー非晶質合金のコンビナトリアル探索(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
- 435 高機能ガラスレンズ金型用Pt基非晶質合金の探索(複合機能化材料・デバイスとその加工プロセス)
- 二次元アブソリュートエンコーダの原理とその応用
- ウォームホブの簡易測定法(第2報) : 測定装置の試作と測定実験
- ウォームギヤの歯当たりと角度伝達精度の研究(第2報) : 歯面修整法の検討
- ウォームホブの簡易測定法(第1報) : 測定原理
- ホブ基準ウォームギヤ製作システムの研究
- ウオームギヤの歯当たりと角度伝達精度の研究(第1報) : 数値解析の手法
- ウォームギヤの接触点の条件の近似解法
- 東京工業大学の知的財産戦略
- 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメントの原理と特性
- 高周波回路用可変マイクロインダクタの製作と評価
- 225 磁気軸受を用いた高精度回転の実現