6自由度微動機構の研究
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概要
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A six degrees-of-freedom (DOF) mechanism is introduced to drive an object (or a table) precisely in directions of x, y and z-axes and around them; three rectangular linear motions and three rotary ones. In the mechanism, the object is driven by six linear actuators surrounding it. Positions and orientations of the actuators are theoretically discussed, which gives the same dynamic characteristics to the six motions and eliminates interferences between the dynamic motions as well as the static ones. As a result of the discussion, a new type six DOF mechanism is designed. Then an experimental mechanism is introduced in which a 70x70x70mm^3 cube object is driven by six PZT actuators. Some static and dynamic experiments prove that the mechanism has the designed characteristics.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1989-04-05
著者
-
下河辺 明
東京工業大学
-
辺見 信彦
東京工業大学大学院 : (現)東京理科大学理工学部
-
和田 真一
三菱化成(株)
-
和田 真一
三菱化成工業(株)
-
青山 尚之
静岡大学工学部
-
長田 秀治
東京工業大学精密工学研究所
-
長田 秀治
筑波大学構造工学系
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