LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第2報) : 応答速度の検討
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概要
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The purpose of the study is to develop an optical non-contact displacement sensor which has the following characteristics; (1)direct measurement of rough surfaces, (2)high accuracy, (3)large measurement range, and (4)high follow-up speed. In the previous paper, a laser diode herterodyne interferometry sensor was introduced and its accuracy and measurement range were reported. This paper discusses the follow-up speed of the sensor. It is theoretically analyzed and experimentally proved that the following speed can be heightened by the increase of the modulation frequency and by the detection of a higher order harmonic component of the beat signal.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1992-12-05
著者
-
下河辺 明
東京工業大学
-
佐藤 海二
東京工業大学精密工学研究所
-
安田 勝彦
東京工業大学大学院
-
佐藤 海二
東京工業大学
-
唐 東雷
(株)東京精密
-
章 恩耀
清華大学精密儀器系
-
赤羽 正大
(株)東京精密
-
唐 東雷
東京工業大学大学院
-
章 恩耀
東京工業大学工学部
-
野嶋 一宏
東京工業大学工学部
-
小田切 延之
(株)東京精密
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