404 軸方向位置決め機能を有する静圧空気スピンドルを用いた精密フライス加工(OS4 最新機械要素技術)(OS16 トライポロジー・軸受技術)
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概要
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There is a demand for an ultra precision machine in a variety of fields such as optical instruments and electronic devices. A precision aerostatic spindle having an axial positioning function is proposed for the ultra precision and compact machine. The spindle has two radial,air bearings that work not only high-precision radial ones but also a linear guideway in the axial direction. The spindle has 15rim positioning resolution at 7,000rpm in the axial direction. This paper deals with an .experimental study of precision milling of oxygen-free copper with a single crystal diamond tool. The height and surface roughness of machined steps are 200nm and 40nmRa, respectively.
- 2004-11-19
著者
-
下河辺 明
東京工業大学
-
下河辺 明
東工大
-
進士 忠彦
東工大
-
進士 忠彦
東京工業大学精密工学研究所
-
進士 忠彦
東京医科歯科大学生体材料工学研究所 生体システム分野
-
佐藤 海二
東工大精研
-
進士 忠彦
東工大精研
-
佐藤 海二
東京工業大学
-
橋詰 等
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
-
橋詰 等
東京工業大学精密工学研究所
-
橋詰 等
東工大
-
井波 友輔
東工大
-
佐藤 海二
東工大大学院
-
Shinshi Tadahiko
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
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