薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第3報) : 過冷却液体域を利用した立体構造製作法の検討
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
下河辺 明
東工大精研
-
秦 誠一
東工大精研
-
劉 永東
東京工業大学精密工学研究所
-
加藤 友和
東京工業大学大学院総合理工学研究科
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劉 永東
東工大精研
-
加藤 友和
東工大大学院
-
秦 誠一
東京工大 精密工研
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