加藤 友和 | 東京工業大学大学院総合理工学研究科
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概要
関連著者
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加藤 友和
東京工業大学大学院総合理工学研究科
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秦 誠一
東京工大 精密工研
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秦 誠一
東京工業大学
著作論文
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第3報) : 過冷却液体域を利用した立体構造製作法の検討
- 集積化円すいばねマイクロアクチュエータ
- 集積化円錐ばねマイクロアクチュエータ
- 基板面外円錐ばねマイクロアクチュエータ