基板面外円錐ばねマイクロアクチュエータ

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概要

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• 2001-09-01

著者

• 下河辺 明

  東工大精研

• 秦 誠一

  東工大精研

• 加藤 友和

  東京工業大学大学院総合理工学研究科

• 加藤 友和

  東工大大学院

• 秦 誠一

  東京工大 精密工研

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