139 マイクロミラーデバイスの複合マイクロ加工(材料加工における最近の話題(2),ものづくりにおける基礎研究と先端技術の融合)
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概要
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- 2010-11-27
著者
-
秦 誠一
東京工業大学精密工学研究所
-
桜井 淳平
東京工業大学精密工学研究所
-
桜井 淳平
東工大精研
-
秦 誠一
東京工大 精密工研
-
渡辺 茂高
東京工業大学
-
渡辺 茂高
東京工業大学:キャノン電子(株)
-
秦 誠一
東京工業大学
-
桜井 淳平
東京工業大学大学院
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