G220012 薄膜金属材料のハイスループット疲労試験に関する研究([G22001]マイクロ・ナノエ学専門会議一般セッション)
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概要
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It is important to know the characteristic of the thin film alloy for MEMS technology. Recently, studies have been made to evaluate high-throughput evaluation of high speed and high efficiency in a wide variety of samples. However, high-throughput evaluation of fatigue strength is important in the design of MEMS is not enough research has been done. In this paper, we propose high-throughput fatigue test using micro-actuator for thin film alloys were examined basis. First, we produced a micro-actuator, the drive was confirmed. And a thin film metal specimen is stamped on the top of the actuator using stamping epoxy. Succeeded in driving the actuator stamping the specimen. 5300 Hz vibration of the actuator will be given the stress of 3.5 X 106 times,succeeded in breaking Ti specimen .
- 2011-09-11
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