G220014 高耐食・広測定域ダイアフラム形真空センサ([G22001]マイクロ・ナノエ学専門会議一般セッション)
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概要
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Almost all of the vacuum sensors using in the semiconductor production equipment are the diaphragm vacuum sensor. Recently, vacuum sensor has a problem such as breakdown with high corrosion process gas. In this research, we fabricate a novel diaphragm vacuum sensor which has high corrosion resistance and extensive measurement region. The high corrosion resistance is realized using Ru-based thin film metallic glass (Ru65Zr30A15). Using this material we fabricated a novel vacuum sensor with high corrosion resistance. New designed sensor with extensive measurement region is fabricated and evaluated.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-11
著者
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