佐藤 海二 | 東工大総理工
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概要
関連著者
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下河辺 明
東工大精研
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佐藤 海二
東京工業大学
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佐藤 海二
東工大総理工
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秦 誠一
東工大精研
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秦 誠一
東京工大 精密工研
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和田 晃一
(株)アドバンテスト研究所
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伊藤 健太郎
東工大総理工
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福田 真
Ntt通信エネルギー研究所
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和田 晃一
アドバンテスト研究所
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太刀川 博之
東工大精研
著作論文
- 薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作(第2報) : Pd基薄膜金属ガラスの成膜とその微細加工
- 液体の表面張力を利用したマイクロ部品のセルフアライメント : 濡れ性の高い面の形状がアライメント性能に与える影響
- 空気静圧送りねじ機構を用いた超精密位置決め