107 めっき銅薄膜機械特性の熱履歴依存性(若手優秀講演フェロー賞対象講演(3))
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概要
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エレクトロニクス部品やプリント配線板用の薄膜配線材料にめっき法で作製した銅薄膜が多用されている.しかし,めっき法で作製した膜の機械特性は微細組織に依存して著しい変動を示し,室温近傍の低温領域でも結晶組織に時間依存性が現れる.そこでめっき後の様々な熱履歴に依存した機械特性として応力-ひずみ曲線と疲労強度特性の変化を測定した結果を報告する.
- 2010-09-24
著者
-
鈴木 研
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
三浦 英生
東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター
-
三浦 英生
東北大
-
三浦 英生
東北大通研
-
村田 直一
東北大院
-
鈴木 研
東北大
-
村田 直一
東北大
-
遠藤 史明
東北大工
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