垂直磁気記録用Co-Cr薄膜媒体の保磁力と結晶子配向の関係
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概要
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Ti薄膜や室温で常磁性のCo_<67>Cr_<33>薄膜を下地層としてCo-Cr膜やCo-Cr-Ta薄膜を作製することでc-軸配向度は大きく向上する。しかしながら、高い基板温度状態において発現するはずの垂直方向保磁力は配向度が高い状態ではむしろ発現が抑制される傾向がある。Co_<67>Cr_<33>薄膜を高基板温度状態で作製した場合、(002)面回折線のRocking Curveの分離が観測ざれる。このようにCo-Cr結晶子のc-軸が垂直方向からわずかに傾いて成長することが偏析機構や保磁力発現機構と関連があるものと考えられる。
- 1997-11-20
著者
-
中川 茂樹
東京工業大学
-
直江 正彦
東京工業大学
-
高山 誓龍
東工大
-
金 敬桓
Kyung Won Univ.
-
高山 誓龍
東京工業大学工学部電子物理工学科
-
金 敬桓
Dept. of Electrical Engineering, Kyungwon University
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