サブ50nm時代の切り札SOI : SOIがBulkに勝てる技術はこれだ!(VLSI回路, デバイス技術(高速・低電圧・低消費電力))
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概要
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SOI製品が、サーバー、ゲーム機、電波時計等の分野で広がりつつある。一方、ITRSのロードマップによれば、SOIデバイスは、サブ50nm世代以降の微細化デバイスの候補であり、emerging technologyとして"nonclassical CMOS"に分類されている。本パネルでは、まず、ビジネス的観点から、「死の谷越え」のできるSOIデバイスの特徴、アプリケーション、条件を明らかにする。次に、技術的観点から、超高速指向のアプリケーションにターゲットを絞って、サブ50nm世代のLSI設計における問題点を明らかにするとともに、SOIによる対策例を示す。各種SOI技術を「バルクデバイスの置き換え」、「SOIしかできない技術」というような色分けをしながら、今後SOI技術が本当に切り札になりうるのかを議論する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-08-11
著者
-
道関 隆国
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
有本 和民
ルネサステクノロジ
-
榎本 忠儀
中央大学理工学部
-
一法師 隆志
ルネサステクノロジ 先端デバイス開発部
-
一法師 隆志
ルネサステクノロジ
-
山岡 雅直
日立製作所・中央研究所
-
道関 隆国
Ntt マイクロシステムインテグレーション研
-
榎本 忠儀
中央大学理工学研究所
-
榎本 忠儀
中央大学理工学部 情報工学科
-
井田 次郎
沖電気工業株式会社
-
道関 隆国
Ntt
-
吉見 信
SOITEC Asia
-
三木 和彦
東芝
-
山岡 雅直
日立製作所中央研究所
-
山岡 雅直
(株)日立製作所中央研究所
-
井田 次郎
沖電気研究本部デバイス研究開発部
-
井田 次郎
沖電気
-
吉見 信
東芝 Soc研開セ
-
山岡 雅直
日立製作所 中央研究所
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