RF-DC結合形低圧マグネトロンスパッタ法の開発 : 放電特性とNi薄膜の堆積速度のDC制御効果
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-03-07
著者
-
田中 武
広島工業大学工学部
-
田中 武
広島工大
-
川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
-
田中 武
広島工業大学
-
川畑 敬志
広島工業大学
-
梶岡 秀
広島県立西部工業技術センター
-
三上 康男
広島工業大学工学部電子工学科
-
山田 敬治
三容真空工業株式会社
-
大成 昭雄
広島工業大学工学部電子工学科
-
出川 徹
広島工業大学工学部電子工学科
-
山田 敬治
広島三容真空(株)
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