RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるDC制御効果
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概要
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RF(13.56MHz)-DCマグネトロンスパッタ法においてMoおよびW薄膜のたい積速度のDC制御効果について調べた.その結果薄膜の成膜係数が印加DCバイアス電圧によりよく制御されていることを明らかにした.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-05-25
著者
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