C-6-14 RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTiNi_x薄膜の作製
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-03-07
著者
-
田中 武
広島工業大学工学部
-
田中 武
広島工大
-
川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
-
田中 武
広島工業大学
-
川畑 敬志
広島工業大学
-
河合 克浩
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
-
平田 哲之
広島工業大学
-
吉岡 亮二
広島工業大学
-
河合 克浩
島根大学総合理工学部電子制御システム工学科
-
河合 克浩
広島工業大学
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