高周波-直流結合形マグネトロンスパッタリングにより作成したTa/ITO界面の評価
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概要
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- 1995-09-20
著者
-
田中 武
広島工業大学工学部
-
田中 武
広島工大
-
川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
-
田中 武
広島工業大学
-
川畑 敬志
広島工業大学
-
森井 浩
広島工大・工
-
峯岡 和博
広島工大・工
-
森井 浩
広島工業大学工学部電子工学科
-
峯岡 和博
広島工業大学工学部電子工学科
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