高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるNiターゲットを用いた放電特性と直流バイアスによるNi薄膜の堆積速度制御効果
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概要
著者
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田中 武
広島工業大学工学部
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田中 武
広島工大
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川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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田中 武
広島工業大学
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川畑 敬志
広島工業大学
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三上 康男
広島工業大学工学部電子工学科
-
山田 敬治
三容真空工業株式会社
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大成 昭雄
広島工業大学工学部電子工学科
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出川 徹
広島工業大学工学部電子工学科
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