三上 康男 | 広島工業大学工学部電子工学科

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概要

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関連著者

• 田中 武

  広島工業大学工学部

• 田中 武

  広島工大

• 川畑 敬志

  広島工業大学工学部電子・光システム工学科

• 田中 武

  広島工業大学

• 川畑 敬志

  広島工業大学

• 三上 康男

  広島工業大学工学部電子工学科

• 山田 敬治

  三容真空工業株式会社

• 大成 昭雄

  広島工業大学工学部電子工学科

• 出川 徹

  広島工業大学工学部電子工学科

• 梶岡 秀

  広島県立西部工業技術センター

• 山田 敬治

  広島三容真空(株)

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著作論文

• 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるNiターゲットを用いた放電特性と直流バイアスによるNi薄膜の堆積速度制御効果
• RF-DC結合形低圧マグネトロンスパッタ法の開発 : 放電特性とNi薄膜の堆積速度のDC制御効果

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