N^2-H^2プラズマ処理によるSnO^2薄膜の水素プラズマ耐性改善
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概要
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SnO^2/pin構造のa-Si:H太陽電池において、SnO^2薄膜をH^2プラズマ曝露するとプラズマ中の活性な水素ラジカルにより、SnO^2薄膜表面が還元されることが知られている。筆者等は、SnO^2薄膜表面を保護する方法としてN^2プラズマによる表面改質を報告した。本研究では、N^2-H^2プラズマ処理による表面改質を行い、H^2プラズマ耐性について検討した。
- 1996-03-11
著者
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