多重磁極形高周波マグネトロンスパッタ法によるFe薄膜のスパッタガス圧力依存症
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概要
著者
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田中 武
広島工業大学工学部
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田中 武
広島工大
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川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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梶岡 秀
広島県立西部工業技術センター
-
原田 昌浩
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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河合 克浩
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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