高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるSnNx薄膜の作製
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概要
著者
-
田中 武
広島工業大学工学部
-
田中 武
広島工大
-
川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
-
田中 武
広島工業大学
-
川畑 敬志
広島工業大学
-
右田 達夫
広島工業大学工学部電子工学科
-
亀井 竜造
広島工業大学
-
亀井 竜造
広島工業大学工学部電子工学科
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