高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法を用いたAr-N_2ガスプラズマ中のTiターゲット表面組成
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概要
著者
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田中 武
広島工業大学工学部
-
田中 武
広島工大
-
川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
-
田中 武
広島工業大学
-
川畑 敬志
広島工業大学
-
鈴木 昌裕
広島工業大学工学部電子工学科
-
山本 和弘
広島工業大学工学部電子工学科
-
鈴木 昌裕
広島工業大学・工学部
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