DCマグネトロンスパッタリングにおける放電特性のターゲット材料仕事関係依存性
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-03-06
著者
-
田中 武
広島工業大学工学部
-
田中 武
広島工業大学
-
右田 達夫
広島工業大学工学部電子工学科
-
亀井 竜造
広島工業大学
-
鈴木 昌裕
広島工業大学工学部電子工学科
-
鈴木 昌裕
広島工業大学・工学部
-
笹井 慎太郎
広島工業大学・工学部
-
川端 敬志
広島工業大学・工学部
-
亀井 竜造
広島工業大学工学部電子工学科
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