Ar-N_2混合ガスを用いた高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法による窒化マグネシウム薄膜の作製
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概要
著者
-
田中 武
広島工業大学工学部
-
田中 武
広島工大
-
川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
-
田中 武
広島工業大学
-
川畑 敬志
広島工業大学
-
右田 達夫
広島工業大学工学部電子工学科
-
亀井 竜造
広島工業大学
-
亀井 竜造
広島工業大学工学部電子工学科
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