C-6-10 RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたWNx薄膜のDC電圧による組成制御効果
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-03-08
著者
-
田中 武
広島工業大学工学部
-
田中 武
広島工大
-
川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
-
田中 武
広島工業大学
-
川畑 敬志
広島工業大学
-
右田 達夫
広島工業大学工学部電子工学科
-
亀井 竜造
広島工業大学
-
亀井 竜造
広島工業大学工学部電子工学科
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