鈴木 昌裕 | 広島工業大学・工学部

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概要

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• 鈴木 昌裕

  広島工業大学・工学部

• 田中 武

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• 田中 武

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  広島工業大学

• 川畑 敬志

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• 右田 達夫

  広島工業大学工学部電子工学科

• 鈴木 昌裕

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• 亀井 竜造

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• 川端 敬志

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著作論文

• RF-DC 結合形マグネトロンスパッタ法による Mg ターゲットにおける Ar-N_2 ガスの放電特性
• 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法を用いたAr-N_2ガスプラズマ中のTiターゲット表面組成
• DCマグネトロンスパッタリングにおける放電特性のターゲット材料仕事関係依存性

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