田中 武 | 広島工大・工

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  広島工業大学工学部電子・光システム工学科

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著作論文

• N^2-H^2プラズマ処理によるSnO^2薄膜の水素プラズマ耐性改善
• RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるAr-N_2ガスの放電特性とTiターゲット表面組成
• RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法によるTiN_x/Si系における下地効果
• RF-DC 結合形マグネトロンスパッタ法による Mg ターゲットにおける Ar-N_2 ガスの放電特性

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