Co-Cr-(Ta)薄膜の膜厚方向における磁気特性分布とCo_<67>Cr_<33>下地層効果 (<特集> 磁性薄膜, 一般)
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概要
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Co-Cr(-Ta)単層膜において、表面層と初期成長層の保磁力を磁気光学Kerr効果を利用して測定し、それらの保磁力と膜内の保磁力分布との関係について調べた。Cr濃度が25at.%で、初期成長層の保磁力が最大値700 Oeをとり、保磁力分布が一様に近づくことがわかった。また、その初期成長層の特性を改善するために、Co_<67>Cr_<33>下地層を用いた。その結果、単層膜よりc軸配向度と結晶性は著しく改善された。膜全体の保磁力は、高い基板温度で作製しても、約300 Oeと抑制された。
- 1996-09-13
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