Fe/Pt薄膜の水素中アニールによる規則合金化(磁性薄膜,磁気記録一般)
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概要
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Fe/Pt 2 層膜において規則合金化のために行う熱処理時の雰囲気が、Fe-Pt規則化に大きく影響を与えることが確認された。Fe/Pt 2 層膜の試料内部にはスパッタ時の背圧や大気暴露などの影響で膜内部に多量の酸素を含んでおり、これらがFeと結合して安定なFe_2O_3となることで規則合金化を阻んでいることが分かった。水素中にてアニールを施した場合これら酸素原子を取り除き効果的にFe-Ptの規則合金化が起こり、400℃以上にて5[kOe]以上の高い保磁力を持つFe-Pt合金薄膜が得られた。また、水素雰囲気を高圧下にて熱処理を施したところ従来の1気圧下での場合に比べてどの熱処理温度においても保磁力が増大しており、さらに規則化開始温度が400℃から350℃へと低下した。これらより水素高圧雰囲気中での熱処理がFe-Ptの低温規則化に有効な手段であることが分かった。
- 2003-11-07
著者
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