Co/Pd多層膜の構造と膜厚方向磁気特性分布の関係

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概要

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Co/Pd多層膜の界面状態と磁気特性との関連、特に高い垂直保磁力の起源を調べることを目的とした。Co/Pd多層膜の周期数を変えたところ周期数を増やすにしたがい表面粒子サイズDが増加し、逆磁区核形成磁界|H_n|と共に保磁力H_cが若干増加した。次にPd下地層を付与したところ、表面粗さR_αが大幅に増加して保磁力付近での傾きα(=4π(dM/dH)_H=Hc)が低下し、高H_cを得ることができた。またスパッタガス圧により界面状態が変化することに注目し、Co層とPd層とをそれぞれ異なるArガス圧で作製し、特性の変化を調べた。Pd層を高ガス圧でスパッタすることが垂直磁気異方性の発現にとって不可欠であることが確認された。|H_n|が増加するためにはPd層を高Arガス圧下で作製して表面の粒子サイズDを大きくすることが必要である。またαを下げるには下地層を付与するなどしてR_αを大きくすることが必要であることがわかった。
社団法人電子情報通信学会の論文
2002-12-06

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