カーボンナノチューブのCVD成長技術と電子デバイス応用(2004先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア太平洋会議)
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概要
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カーボンナノチューブは、1枚のグラフェンシートをナノメートル直径の円筒状に丸めた構造をもち、極めてユニークな特性を示す。例えばそのねじれ方によって半導体的にも金属的にもなる。ナノチューブは、数々の特長により、ナノ材料、環境、エネルギー、バイオ、エレクトロニクスなど、極めて広い分野で応用が期待されている。ここでは、エレクトロニクス応用に必要となる、化学的気相成長法(CVD)によるカーボンナノチューブの合成と位置・方向制御、長さ制御などについての最近の進展について述べる。さらに電子デバイス応用として、ナノチューブトランジスタや単一電子トランジスタ、配線などの研究と今後の課題について述べる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-06-25
著者
-
粟野 祐二
富士通研
-
粟野 祐二
富士通株式会社
-
二瓶 瑞久
富士通株式会社
-
横山 直樹
ナノテクノロジー研究センター株式会社富士通研究所
-
粟野 祐二
(株)富士通研究所
-
二瓶 瑞久
Mirai-selete
-
二瓶 瑞久
科学技術振興機構戦略的創造研究推進事業
-
二瓶 瑞久
独立行政法人産業技術総合研究所連携研究体グリーン・ナノエレクトロニクスセンター
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