Si熱酸化の統合反応モデル
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概要
著者
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高桑 雄二
東北大科研
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二瓶 瑞久
CREST・JST
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二瓶 瑞久
Mirai-selete
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高桑 雄二
東北大学・科学計測研究所
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二瓶 瑞久
科学技術振興機構戦略的創造研究推進事業
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二瓶 瑞久
独立行政法人産業技術総合研究所連携研究体グリーン・ナノエレクトロニクスセンター
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